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TFT-LCD大型玻璃基板涂膜装置用纳米复合陶瓷载置平板

2012年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　TFT-LCD液晶显示器相对于传统显像管显示器，具有轻、薄、低辐射、节能和环保等突出优点，近年来发展迅速，已经广泛应用于电视机、笔记本电脑、监视器、手机等电子信息行业。在TFT-LCD液晶显示器生产过程中大型玻璃基板涂膜装置是整个生产线的关键设备，而大型陶瓷载置平板则是涂膜装置中的基础部件，主要作用是承托大型玻璃基板，其需要长期承受高温下涂膜气体（SiCl4、HCl、NH3、H2等）的侵蚀，因...

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